เซินเจิ้น CKD เทคโนโลยี จำกัด
เซินเจิ้น CKD เทคโนโลยี จำกัด
สินค้า
สินค้า
MYW10
  • MYW10MYW10

MYW10

MYS Series – ระบบพลาสมา MYW10
ช่วยให้กระบวนการปรับสภาพพื้นผิวเวเฟอร์มีความยืดหยุ่นสูงและให้ปริมาณงานสูง
ด้วยการเติบโตอย่างรวดเร็วของตลาดการประกอบชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ ความต้องการของอุตสาหกรรมในด้านประสิทธิภาพการผลิตและความน่าเชื่อถือยังคงเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง ด้วยการขจัดเวลารอที่เกี่ยวข้องกับการประมวลผลพลาสมาแบบสุญญากาศแบบดั้งเดิม อุปกรณ์ทำความสะอาดซีรีส์ MYS ให้ปริมาณงานที่สูงขึ้นอย่างมากและผลผลิตโดยรวมที่ดีขึ้น ขณะเดียวกันก็รับประกันการจัดการอย่างปลอดภัยของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ละเอียดอ่อนทั้งหมด

เทคโนโลยี CKD ไม่เพียงแต่มีเครื่องจักรใหม่ในสต็อกเท่านั้น แต่ยังพร้อมจำหน่ายทันที

นอกจากนี้เรายังมีธุรกิจให้เช่าแบบละเอียด ซึ่งพร้อมที่จะตอบสนองความต้องการด้านการผลิตเฉพาะของคุณในขณะที่ลดการลงทุนเริ่มแรกของคุณลงอย่างมาก ติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม

CKD มีทีมวิศวกรมืออาชีพพร้อมบริการเทิร์นคีย์

สำหรับการซื้อขายเครื่องจักรมือสอง โปรดติดต่อเราทาง Whatspp หรืออีเมล

---------------------------------------------------------------------------------------------


คุณสมบัติผลิตภัณฑ์

ระบบพลาสมา MYW10 มอบกระบวนการบำบัดพื้นผิวเวเฟอร์ที่มีความยืดหยุ่นสูงและให้ปริมาณงานสูง

• ระบบพลาสมาอาร์กอนความดันบรรยากาศ

• การประมวลผลแบทช์พลาสมาแบบอินไลน์กว้าง 100 มม.; ให้ประสิทธิภาพที่สูงขึ้น 2-5 เท่าและต้นทุนการดำเนินงานลดลงกว่า 30% เมื่อเทียบกับวิธีการแบบเดิม

• พลาสมาเป็นกลาง 100%; ปลอดภัยและอ่อนโยนต่อชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความละเอียดอ่อน ไม่มีการทิ้งระเบิดด้วยพลาสมา ไฟฟ้าสถิตย์ ประกายไฟ การอาร์ค ฝุ่น ความร้อนสูง ระลอกคลื่นบนพื้นผิว หรือรังสี UV ทำให้มั่นใจได้ว่าผลิตภัณฑ์จะเสียหายเป็นศูนย์

• กระบวนการทางเคมีที่หลากหลาย: กระบวนการ O2 สำหรับการกำจัดสารปนเปื้อนอินทรีย์ กระบวนการ H2 สำหรับกำจัดออกไซด์ของโลหะและกระตุ้นพื้นผิวผลิตภัณฑ์

• ไม่ทำให้เกิดการปนเปื้อนของอนุภาคหรือการเปลี่ยนแปลงความหยาบของพื้นผิวบนแผ่นเวเฟอร์

• ใช้งานได้กับทั้งการผลิตแผ่นเวเฟอร์และเทปเฟรม ช่วยให้สามารถสลับระหว่างทั้งสองได้อย่างรวดเร็ว

• เป็นไปตามมาตรฐานห้องสะอาดและมาตรฐาน SEMI ระดับ 10

MYW10

ข้อมูลจำเพาะ

พารามิเตอร์พื้นฐาน MYW10
ข้อกำหนดด้านพลังงาน ไฟฟ้ากระแสสลับ 380V, 13kW, 20A, 50/60Hz
ข้อกำหนดด้านแรงดันอากาศ 90psi (6bar)
ขนาด 2000 x 2800 x 2200 มม
น้ำหนัก 2200กก
การรับรองมาตรฐาน กึ่ง S2/S6/S8
ความแม่นยำของตำแหน่ง XY: ±20 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ
การทำซ้ำแกน XYZ XY: ±10 µm @ 3σ; Z: ±5 µm @ 3σ
ความเร็วสูงสุด 1,000 มม./วินาที (XY)
การเร่งความเร็ว 1.0ก
ระบบขับเคลื่อน เอซีเซอร์โว
ข้อมูลจำเพาะของแพลตฟอร์มการทำงาน
วิธีการโหลด/ขนถ่าย OHT + พอร์ตโหลด + แขนหุ่นยนต์
น้ำหนักบรรทุกของแขนหุ่นยนต์ 3 กก
ขนาดเวเฟอร์ที่เข้ากันได้ 12 นิ้ว (300 มม.)
ระบบปฏิบัติการซอฟต์แวร์ วินโดวส์ 10
เอ็กซ์/วาย ทราเวล 400 มม. / 500 มม
การเดินทางแกน Z 20มม
โปรโตคอลการสื่อสาร ก.ล.ต./อัญมณี
ช่วงการดำเนินงาน
พื้นที่บำบัดพลาสมา (กว้าง×ลึก) 300×300มม
มุมสัมผัสน้ำหลังการบำบัด (WCA) WCA < 10° (เวเฟอร์ซิลิคอน)
วิธีการรักษาด้วยพลาสมา กระบวนการ O2 เพื่อกำจัดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์
กระบวนการ H2 สำหรับการกำจัดโลหะออกไซด์
ข้อกำหนดของระบบพลาสมา
พลังงาน RF 600W ที่ 27.12MHz
ก๊าซพลาสม่าหลัก อาร์กอน
แปรรูปแก๊ส O2, N2 หรือ H2
ช่วงแรงดันการจ่ายแก๊ส 40–100 psi (0.3–0.7 MPa)






แท็กยอดนิยม: ผู้ผลิตโซ่ MYW10, ผู้ผลิตโซ่ MYW10, การขายส่งโซ่อุตสาหกรรมที่ทนทาน
ส่งคำถาม
ข้อมูลติดต่อ
  • ที่อยู่

    ชั้น 5 อาคาร 2 เลขที่ 182 ถนนฉางอันซีอานเมืองฉางอันตงกวนมณฑลกวางตุ้งประเทศจีน

  • โทร

    +86-15016731717

  • อีเมล

    info@techckd.com

หากคุณมีคำถามใดๆ เกี่ยวกับใบเสนอราคาหรือความร่วมมือ โปรดส่งอีเมลหรือใช้แบบฟอร์มสอบถามต่อไปนี้ ตัวแทนฝ่ายขายของเราจะติดต่อคุณภายใน 24 ชั่วโมง
X
เราใช้คุกกี้เพื่อมอบประสบการณ์การท่องเว็บที่ดีขึ้น วิเคราะห์การเข้าชมไซต์ และปรับแต่งเนื้อหาในแบบของคุณ การใช้ไซต์นี้แสดงว่าคุณยอมรับการใช้คุกกี้ของเรานโยบายความเป็นส่วนตัว
ปฏิเสธยอมรับ